“天价”光刻机到位

　　中芯国际正悄悄从海外进口关键设备，欲抢在今年年底试产45纳米芯片，从而进入全球半导体代工业45纳米的“俱乐部”。

　　消息人士对《第一财经日报》透露，29日中芯国际上海12英寸厂采购浸润式光刻机已到位，“这标志着中芯国际在量产45纳米芯片方面有了生产保障。”

　　天价光刻机悄悄到厂

　　本报获悉，这是中国大陆的第一台浸润式光刻机，该设备由荷兰ASML生产，后者是全球这一领域的第一大供应商。上述消息人士透露，由于光刻机属高精密设备，为防止震动，从机场到中芯国际工厂完全是红地毯式全程护送，运输车辆都是匀速行使。否则，这个花了4亿~5亿元人民币买来的设备可能受损。

　　生产设备是半导体制造业成本核心，一条新12英寸生产线造价约15亿美元，光刻机则是其中最关键、最昂贵的设备。目前，全球浸润式光刻机仅有3家企业能供应，另外两家企业为日本佳能与美国尼康，中国本土企业还无法提供类似产品。此前，中芯国际武汉12英寸厂已经从ASML采购了相关设备，是90纳米的。

　　年底进入45纳米俱乐部

　　中芯国际方面昨天未透露设备采购进展，并为运输过程做了保密。由于中芯国际此前已经获得IBM 45纳米半导体技术授权，这意味着，它将从技术层面进入45纳米代工服务的“俱乐部”。

　　去年底，中芯国际上海12英寸厂成功投产时，中芯国际总裁兼CEO张汝京表示，该厂拥有大陆唯一具备45纳米生产能力的生产线，明年年中，有望正式量产。而这台光刻机的到来，则为其正式生产奠定了基础。

　　此前，中芯国际最大对手台积电已经量产45纳米芯片，虽然需求有限、产能规模较小，但是，由于其为首家量产这一产品的代工企业，从而成为产业发展标志。而另一个对手新加坡特许今年也将正式进入这一领域。

　　不过，中芯国际的追赶速度已经加快。它打算在其三座工厂涉足45纳米产品。3月份，在接受《第一财经日报》专访时，张汝京透露，上海、北京、深圳都将涉入45纳米技术，其中深圳2009年第四季有望投产，月产能将达3万片。而上海12英寸工厂的量产时间，则为明年年中。

　　这一动作或许将为其战略引资谈判增加筹码。此前，一位接近张汝京的内部人士对本报透露，引资谈判已进入最关键阶段，上半年有望完成。而从时间看，上半年即将过去。中芯官方昨天没有回应最新进展。